半導體高階溫控解決方案 | SEMICON Taiwan 2026 萬和儀器 × RKC 參展邀請

在半導體前段晶圓製造（如 CVD、ALD、蝕刻）與後段先進封裝（CoWoS、Fan-Out）製程中，「熱場控制（Thermal Control）」的穩定度是決定晶圓良率與製程重複性的核心關鍵。任何微小的溫度漂移或熱場不均，都可能導致晶圓結構缺陷與高昂的報廢損失。

日本溫控領導品牌 RKC INSTRUMENT 專為半導體與高科技產業開發出具備極致響應速度與微小溫度控制精度的高階控制器與模組系統。

身為 RKC 在台灣的官方代理商，萬和儀器將於 SEMICON Taiwan 2026（國際半導體展）隆重登場！我們誠摯邀請半導體廠務、設備開發（OEM）與製程工程師蒞臨我們的攤位，現場體驗最頂尖的精密溫控技術與解決方案。

展覽資訊與萬和儀器攤位位置

展會名稱： SEMICON Taiwan 2026 國際半導體展
展出地點： 台北南港展覽館 2 館 1 樓
攤位編號： Q5339

展出日期與時間：

2026 年 9 月 2 日（三） 10:00 – 17:00
2026 年 9 月 3 日（四） 10:00 – 17:00
2026 年 9 月 4 日（五） 10:00 – 16:00

一、 SEMICON Taiwan 2026 展出三大核心技術亮點

1. 超高精度多通道多點溫控系統
針對半導體腔體（Chamber）與加熱盤（Heater Platen）多區分段控制需求，RKC 展示多通道模組化控制器，實現高度同步且無干擾的微小溫差控制（±0.1°C 級別），顯著提升晶圓熱場均勻度。

2. 智慧抑超調與快速響應演算法
結合 RKC 獨家 Autotuning（自動演算） 與 抑超調（Overshoot Suppression）技術，在高頻率加熱與冷卻切換過程中，有效防止溫度過衝，降低敏感半導體材料的熱應力衝擊。

3. 高速數位通訊與智慧化系統整合
支援 EtherCAT、CC-Link、Modbus 等主流工業網路通訊協定，能無縫銜接半導體主機台控制系統與 MES 廠務監控，實現數據即時可視化與預防維護診斷。

二、 RKC 半導體溫控解決方案展出亮點對比表

誠摯邀請您蒞臨 SEMICON Taiwan 2026！

歡迎半導體產業界的新老朋友於 9/2 ~ 9/4 前往 南港展覽館 2 館 1 樓 Q5339 攤位，與萬和儀器一同探討下一代半導體溫控的無限可能！

2026-08-31

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